深圳沃飛科技有限公司專業研發設計制造高純工藝氣體系統電子特氣工藝尾氣處理設備local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾氣處理設備可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。